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          咨詢(xún)熱線(xiàn)

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          場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的兩種分類(lèi)介紹

          更新時(shí)間:2022-08-27      點(diǎn)擊次數:1949
          場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(FESEM)是電子顯微鏡的一種,其原理是利用二次電子或背散射電子成像,對樣品表面放大一定的倍數進(jìn)行形貌觀(guān)察,同時(shí)利用電子激發(fā)出樣品表面的特征X射線(xiàn)來(lái)對微區的成分進(jìn)行定性定量分析。
           
          場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的分類(lèi):
           
          1、冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
           
          冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡優(yōu)點(diǎn)是電子束直徑小,亮度高,因此影像分辨率高。能量散布小,故能改善在低電壓操作的效果。為避免針尖被外來(lái)氣體吸附,而降低場(chǎng)發(fā)射電流,并使發(fā)射電流不穩定,冷場(chǎng)發(fā)射式電子槍必需在10^-10torr的真空度下操作,雖然如此,還是需要定時(shí)短暫加熱針尖至2500K(此過(guò)程叫做flashing),以去除所吸附的氣體原子。它的另一缺點(diǎn)是發(fā)射的總電流小。
           
          2、熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
           
          熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是在1800K溫度下操作,避免了大部份的氣體分子吸附在針尖表面,所以免除了針尖flashing的需要。熱式能維持較佳的發(fā)射電流穩定度,并能在較差的真空度下(10^-9torr)操作。雖然亮度與冷式相類(lèi)似,但其電子能量散布卻比冷式大3~5倍,影像分辨率較差,通常較不常使用。
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